Dove vengono utilizzati i tamponi per lucidatura dei wafer di silicio?

I wafer lucidati sono il prodotto più utilizzato e altri prodotti di wafer di silicio sono prodotti mediante lavorazione secondaria sulla base di wafer lucidati.
I wafer lucidi sono i wafer di silicio più basilari e ampiamente utilizzati. I wafer lucidati possono essere utilizzati direttamente per realizzare dispositivi a semiconduttore, ampiamente utilizzati nei chip di memoria e nei dispositivi di alimentazione, e possono anche essere utilizzati come materiali di substrato per wafer epitassiali, wafer di silicio SOI e altri tipi di wafer di silicio.
Con il continuo restringimento della larghezza caratteristica della linea dei circuiti integrati e la precisione sempre più fine della litografia, le piccolissime irregolarità sul wafer di silicio causeranno la deformazione e la dislocazione della grafica del circuito integrato. La tecnologia di produzione dei wafer di silicio si trova ad affrontare requisiti e sfide sempre più elevati. Anche la dimensione e la pulizia delle particelle superficiali del chip hanno un impatto diretto sulla resa dei prodotti a semiconduttori.
Pertanto, il processo di lucidatura è molto importante per migliorare la planarità e la pulizia della superficie del wafer di silicio. Il principio principale è ottenere la planarizzazione della superficie del wafer di silicio semiconduttore e ridurre la rugosità rimuovendo lo strato danneggiato residuo sulla superficie lavorata.