Qual è l'uniformità della deposizione di film sottili?
L'uniformità del film sottile si riferisce alla consistenza della distribuzione dello spessore del film sottile sull'intero wafer. Una buona uniformità significa che lo spessore del film sottile è molto vicino in ogni posizione sul wafer.
Quali sono i tipi di uniformità del film sottile?
Generalmente vengono considerati i seguenti tipi:
●Uniformità all'interno del wafer: Uniformità all'interno di un singolo wafer.
●Uniformità wafer-to-wafer: Uniformità tra diverse cialde.
●Uniformità da lotto a lotto: Uniformità tra diversi lotti di wafer.
Come si calcola l'uniformità?
Prendendo come esempio l'uniformità all'interno del wafer, la sua deviazione standard viene calcolata utilizzando la formula:
Questa formula calcola la radice quadrata della media delle differenze al quadrato tra ciascun punto dati e la media dei dati.
σ (deviazione standard): Rappresenta il grado di dispersione dei dati; maggiore è la deviazione standard, maggiore è la dispersione.
N: Numero totale di punti dati misurati.
ti: Valore dello spessore dell'i-esimo punto dati.
Significare: Il valore medio di tutti i punti dati.
(ti−Media)^2: La differenza quadratica tra ciascun punto dati e la media.
∑: Riassunto.
La formula è un po' difficile da capire, ecco un esempio:
Supponiamo di avere un set di punti dati sullo spessore di una pellicola sottile: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Per prima cosa, calcola la media di questi 10 punti: Media=54.98.
●Quindi, calcola la differenza al quadrato tra ogni spessore e la media: {{0}}.0144, 0.0324, {{10}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Somma queste differenze al quadrato e trova la media: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Infine, calcola la deviazione standard: σ=0.193.