Cosa succede se dopo aver pulito il wafer di silicio è presente una filigrana?

1. Se il lavaggio non è pulito, è possibile prendere dei wafer di silicio puliti e pulirli di nuovo. Non esaminare il serbatoio del detergente per vedere se è presente qualche filigrana. Se non c'è filigrana, si tratta di un problema con il detergente, basta regolarlo.
2. L'asciugatura non è sufficiente. Estrarre il wafer di silicio prima di inserirlo nel canale di asciugatura per asciugarlo o asciugarlo con il phon per vedere se è presente una filigrana. Se non è presente alcuna filigrana, aumentare l'intensità del canale di asciugatura.
3. Il contenuto di impurità nell'acqua è troppo elevato, rendendo difficile la pulizia, basta rimuovere le impurità nell'acqua.